第九十四章 光刻机比想象的容易
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光刻机很难。
真的非常非常难。
难度系数是氢弹的十倍。
哪怕倾举国之力都不可能在短期内拿得下。
以上这些,是经常充斥在卫明耳边的话,听得他几乎耳朵长茧。
真的有那么难么?
这些天,亲自进入研发工厂,了解透了光刻机的工作原理,在“老板工作间”内,利用体内的小黑,轻松打磨出几十个合格的高精密零件,以及20块的“锅盖”镜片——每块“锅盖”镜片,由四十层玻璃叠加而成,表面凸起不得超过1纳米。
“很简单么,好像没什么难的。”
看着面前成批成批的精度完全合格的零件,卫明撇了撇嘴说道。
“到底难在了什么地方?”
“光源发生器非常难。”
蒲伟才说道:“要制造出波长13.5纳米的极紫外光,必须要用193纳米波长的深紫外光,击打自由落体的金属锡滴,而且要在极短的时间内,连续击中锡滴两次,每秒重复5万次,才能产生足够强度的极紫外光。”
要知道金属锡滴的直径只有二十微米。
自由落体的过程中,不仅要被激光击中,由水滴状摊平成圆饼状,再进行第二次击打,才能击发出最强烈的极紫外光……整个过程,完全是动态中发生的,如同用绣花针击中苍蝇,而且是连续两次。
并在一秒内,重复五万次这套操作。
“你不是说已经解决了光源问题了么?而且能源利用率达到了5%?”卫明不解的道。
“光源是解决了,是因为我用的击打光源,是用特殊晶体击发出的132纳米光,能量利用率肯定比193纳米光高的多,但是要想制造强度足够的13.5纳米波长的极紫外光,还是得通过击打锡滴的方式达到,这是唯一可行的路径。”
“也就是说,你们只搞定了击打光源,然后就说搞定了光源……这两个不是一码事吧?”
卫明眉头皱了起来。
“卫总,我们不是搞虚假宣传,可是长期的科学研究,如果没有点成果的话,谁会关注我们,上面怎么给我们拨款?所以哪怕只是部分突破,也得重点宣传一番。”
一旁的向广林解释说道。
“其实我们正在攻克的最后一项难题,就是锡滴的击打频率问题。”
蒲伟才也道:“我们已经解决了连续击打问题,但每秒最多重复5000次,不过我们的能量利用率更高,只要能做到每秒重复2万次,就能得到足够使用的光照强度了。”
“所以我们的能量利用率不是没有意义,每秒2万次比每秒5万次,要明显容易实现多了。”
“每秒2万次……”
卫明沉吟了一下,道:“还缺什么条件,阻止你们达到这个频率?”
“精度,控制系统的精度。”
蒲伟才说道:“如同一个时钟,同时精确掌控2万滴锡滴的自由下落,以及4万次的
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